英特尔 + 力积电 + 软银将展示 9 层 DRAM 堆叠,AI 内存功耗大降
发布时间:2026-05-23
一、合作背景:ZAM 项目扩军
二、核心技术:Via‑in‑One TSV 9 层堆叠
关键指标(摘要披露)
- 带宽:0.25 Tb/s/mm²(单位面积带宽,显著高于现有 HBM)
- 功耗:<0.35 W/mm²;单比特能耗<0.7 pJ/bit(比当前 HBM降低近一半)
- 工作电压:0.95V–1.2V,适配低电压 AI 推理场景
- 堆叠层数:9 层(单栈,无需多芯片拼接)
工艺要点
- Multi‑wafer via‑last(多晶圆后通孔):先键合晶圆、再打 TSV,降低高堆叠下的刻蚀 / 填充难度,提升良率。
- 超薄硅基底(ultra‑thin Si):每层 DRAM 减薄至数微米级,降低电阻、改善散热。
- 高密度氧化物沟槽 TSV + O 型互连:提升信号完整性、降低接触电阻,适配高频高速传输。
三、性能对比:碾压 HBM4
四、行业影响:HBM 格局或将重塑
五、展出安排
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