SK 海力士 375 层 NAND 完成验证,2026 年底清州 M15 量产,字线全面钼替代钨
发布时间:2026-06-12
一、核心量产规划
- 产线安排:不新建厂房,改造韩国清州 M15 工厂现有产线。M15 原本量产 176 层、238 层、321 层 NAND,改造后逐步置换产能生产 375 层新品,大幅压低建厂巨额资本投入。
- 层数调整背景:该项目最初内部定位 400 层级 NAND,因超高堆叠下信道孔深度蚀刻、薄膜均匀度等工艺难题难以短期攻克,下调至 375 层落地;远期技术路线已锁定 480 层、604 层两代更高层数产品接续迭代。
二、颠覆性技术:钼(Mo)全面替换传统钨(W)做字线
1. 字线作用
2. 传统钨材料的瓶颈
- 层数拉高、线宽不断微缩后,钨电阻率急剧升高,信号传输延迟变大,读写、擦除速度被限制,无法匹配 AI 服务器高速 SSD、企业级大容量存储需求;
- 钨沉积填充深窄孔洞前,必须先镀一层氮化钛阻挡衬垫层,层层叠加占用垂直堆叠空间,挤压单位面积比特容量上限。
3. 钼材料两大核心优势
- 同等细线宽下电阻率远低于钨,信号损耗小,直接提升闪存读写性能,适配 AI 高速存储场景;
- 无需额外阻挡衬底,可直接填充深孔结构,节省垂直空间,同等堆叠高度下能塞更多存储单元,提升芯片密度。
三、制程设备与工艺难点
四、全球同行进度对比
- 三星:行业率先商用钼方案,2024 年 4 月量产 286 层第九代 NAND 时已导入钼字线;其 400 层 + 第十代 NAND 计划 2026 下半年出货,全程钼基架构;
- 美光:规划 2027 年高端超高层 NAND 全线切换钼替代钨; 至此全球三大存储巨头全部确认 “钼替代钨” 是 400 层以上 NAND 唯一可行技术路线,宣告存储芯片正式进入钼金属时代。
五、市场连锁反应
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